高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的工作原理及其性能特點(diǎn)有哪些?

來源：南京愛爾傳感發(fā)布時(shí)間：2020-06-15 10:54 瀏覽量：

　　頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器在軍事工程，化爆試驗(yàn)，石油勘采與土木工程學(xué)，巖土力學(xué)等液壓動(dòng)力機(jī)械試驗(yàn)等科學(xué)試驗(yàn)與現(xiàn)代化儀器儀表中都有廣泛的應(yīng)用，它可以在極短的上升時(shí)間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶，以保證足夠的動(dòng)態(tài)測壓精度，下面，小編就為大家簡單介紹一下高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的工作原理及其性能特點(diǎn)。

高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的介紹：

　　TS108高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器針對(duì)：對(duì)化爆試驗(yàn)，軍事工程，石油勘采與試井，材料，力學(xué)，土木工程學(xué)，巖土力學(xué)。

　　創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)，液壓動(dòng)力機(jī)械試驗(yàn)等科學(xué)試驗(yàn)與現(xiàn)代化儀器儀表中，需要不失真地測量一些變化頻率高，壓力波形上升快陡的動(dòng)態(tài)壓力波形與幅值、有效值、低噪音，高分辨率，要求所用壓力傳感器具有很高的固有頻率，極短的上升時(shí)間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶，以保證足夠的動(dòng)態(tài)測壓精度。

　　本產(chǎn)品采用微機(jī)械加工技術(shù)使得集成硅膜片尺寸小，固有頻率高，具有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性，綜合能力優(yōu)于壓電動(dòng)態(tài)壓力傳感器，成為動(dòng)態(tài)測量行業(yè)首選的測壓產(chǎn)品。

高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的工作原理：

　　MEMS壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理,采用三維集成電路工藝及- -些專用特殊工藝在單晶硅片薄膜上的特定晶向制成4個(gè)應(yīng)變電阻構(gòu)成惠斯通檢測電橋。被測介質(zhì)施壓使橋壁電阻值發(fā)生變化，產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)電壓信號(hào)，此信號(hào)經(jīng)專用放大電路將量程相對(duì)應(yīng)信號(hào)轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)模擬信號(hào)或數(shù)字信號(hào)。